辉光放电：一种低压气体中的电放电现象。在电场作用下，气体被部分电离形成等离子体，并发出稳定的可见“辉光”，常用于霓虹灯、等离子体处理、溅射镀膜、真空放电与气体放电实验等。（在不同条件下还可能与电弧放电等其他放电形态相区别。）
/ˈɡloʊ dɪsˈtʃɑːrdʒ/
Glow discharge is often used to clean a surface before coating.
辉光放电常用于涂层前的表面清洁。
Under low pressure, the gas enters a glow discharge regime where electrons excite atoms and produce characteristic light.
在低压条件下，气体会进入辉光放电状态，电子激发原子并产生具有特征的发光谱线。
glow 源自古英语 glōwan，意为“发光、发热”。discharge 来自中古法语与拉丁语系词根，表示“释放、卸除（负载）”，在物理语境中引申为“电荷释放/放电”。合起来 glow discharge 即“伴随可见辉光的放电”。
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